编 号 | 名 称 | 配 置 | 数 量 | |
1 | 真空共晶炉主机 | 标配 | 1台 | |
2 | 控温系统(同志科技) | 标配 | 1套 | |
3 | 测温系统(同志科技) | 标配 | 2套 | |
4 |
真空系统 |
真空泵(机械油泵) | 标配 | 1套 |
真空泵(机械干泵) | 选配 | 2.5-5.5万/套 | ||
真空阀(日本SMC) | 标配 | 1套 | ||
真空计(睿宝) | 标配 | 1套 | ||
5 | 加热平台 | 标配 | 1套 | |
6 | 水冷系统(含水冷机) | 标配 | 1套 | |
7 | 氮气气氛系统 | 标配 | 1套 | |
8 | 甲酸气氛系统 | 标配 | 1套 | |
9 | 氮氢混合气气氛 | 选配 | 2.8万/1套 | |
10 |
真空共晶炉控制软件系统 (同志科技软件控制系统) |
标配 | 1套 | |
11 | 工业计算机(研华工控机) | 标配 | 1台 | |
12 | MFC质量流量计 | 标配 | 1台 | |
13 | 上加热系统 | 标配 | 1套 | |
14 | 正压模块 | 选配 | 5万/套 | |
15 | CCD视觉/显微镜 | 选配 | 0.6万/套 |